Դինամիկ սկան օպտիկական համակարգի օպտիկա. 1 հատ փոքր ֆոկուսային ոսպնյակներ, 1-2 հատ կենտրոնացման ոսպնյակներ, galvo հայելի: Ամբողջ օպտիկական ոսպնյակներ ձեւավորում են ճառագայթների ընդլայնման եւ սկանավորման գործառույթ:
Ընդարձակումը բացասական ոսպնյակ է, այսինքն `փոքր ուշադրության կենտրոնական ոսպնյակներ, որոնք իրականացնում են ճառագայթների ընդլայնում եւ շարժվող խոշորացում, կենտրոնացած ոսպնյակները կազմված են մի խումբ դրական ոսպնյակներից: Galvo Mirror- ը Galvanometer համակարգում հայելին է:
(1) ոսպնյակների ձեւավորման օպտիմիզացում. Տրամագծի օպտիմալ հարաբերակցությունը դեպի հաստության հարաբերակցությունը
(2) ոսպնյակների բարձր վնասների շեմն.> 30J / CM2 10NS
(3) Ուլտրա-ցածր կլանման ծածկույթ, կլանման փոխարժեքը `<20ppm
(4) ԳԱԼՎԱՆՈՄԵՏԵՐԻ ՀԻՇՈՒՄԸ ԴԻՄԵՏԵՐԻ ԿԱՐԳԱՎԻԱԿ. 1:35
(5) ոսպնյակների մակերեսի ճշգրտություն. <= Λ/5
Հետընտրական ոսպնյակներ
| Max մուտքի աշակերտ (մմ) | Օպտիկա 1 տրամագիծ (մմ) | Օպտիկա 2 տրամագիծ (մմ) | Օպտիկա 3 տրամագիծ (մմ) | Սկան դաշտ (մմ) | Մաքուր բացվածք սկաների (մմ) | Ալիքի երկարություն |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10.6um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090NM |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532NM |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355nm |
Ռեֆլեկտորի հայելին
| Մաս նկարագրություն | Տրամագիծ (մմ) | Հաստություն (մմ) | Նյութական | Ծածկույթ |
| Սիլիկոնային ռեֆլեկտոր | 25.4 | 3 | Սիլիկոն | HR@10.6um,AOI: 45 ° |
| Սիլիկոնային ռեֆլեկտոր | 30 | 4 | Սիլիկոն | HR@10.6um,AOI: 45 ° |
| Օպտիկամանրաթել | 25.4 | 6.35 | Միաձուլված սիլիկա | HR @ 1030-1090NM, AOI: 45 ° |
| Օպտիկամանրաթել | 30 | 5 | Միաձուլված սիլիկա | HR @ 1030-1090NM, AOI: 45 ° |
| Օպտիկամանրաթել | 50 | 10 | Միաձուլված սիլիկա | HR @ 1030-1090NM, AOI: 45 ° |
| 532 ռեֆլեկտոր | 25.4 | 6 | Միաձուլված սիլիկա | HR @ 515-540NM / 532NM, AOI: 45 ° |
| 532 ռեֆլեկտոր | 25.4 | 6.35 | Միաձուլված սիլիկա | HR @ 515-540NM / 532NM, AOI: 45 ° |
| 532 ռեֆլեկտոր | 30 | 5 | Միաձուլված սիլիկա | HR @ 515-540NM / 532NM, AOI: 45 ° |
| 532 ռեֆլեկտոր | 50 | 10 | Միաձուլված սիլիկա | HR @ 515-540NM / 532NM, AOI: 45 ° |
| 355 ռեֆլեկտոր | 25.4 | 6 | Միաձուլված սիլիկա | HR @ 355NM & 433NM, AOI: 45 ° |
| 355 ռեֆլեկտոր | 25.4 | 6.35 | Միաձուլված սիլիկա | HR @ 355NM & 433NM, AOI: 45 ° |
| 355 ռեֆլեկտոր | 25.4 | 10 | Միաձուլված սիլիկա | HR @ 355NM & 433NM, AOI: 45 ° |
| 355 ռեֆլեկտոր | 30 | 5 | Միաձուլված սիլիկա | HR @ 355NM & 433NM, AOI: 45 ° |
Galvo հայելի
| Մաս նկարագրություն | Max մուտքի աշակերտ (մմ) | Նյութական | Ծածկույթ | Ալիքի երկարություն |
| 55 մլ * 35 մմ * 3.5 մմ-x 62mml * 43mmw * 3.5mmt-y | 30 | Սիլիկոն | MMR@10.6um | 10.6um |
| 55 մլ * 35 մմ * 3.5 մմ-x 62mml * 43mmw * 3.5mmt-y | 30 | Միաձուլված սիլիկա | HR @ 1030-1090NM | 1030-1090NM |
| 55 մլ * 35 մմ * 3.5 մմ-x 62mml * 43mmw * 3.5mmt-y | 30 | Միաձուլված սիլիկա | HR @ 532NM | 532NM |
| 55 մլ * 35 մմ * 3.5 մմ-x 62mml * 43mmw * 3.5mmt-y | 30 | Միաձուլված սիլիկա | HR @ 355NM | 355nm |
Պաշտպանական ոսպնյակներ
| Տրամագիծ (մմ) | Հաստություն (մմ) | Նյութական | Ծածկույթ |
| 75 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
