Carmanhaas Հայելիները կամ ընդհանուր ռեֆլեկտորները օգտագործվում են լազերային խոռոչներում՝ որպես հետևի և ծալովի հայելիներ, իսկ արտաքինից՝ որպես ճառագայթների թեքում՝ ճառագայթների փոխանցման համակարգերում:
Սիլիկոնը ամենից հաճախ օգտագործվող հայելային հիմքն է. դրա առավելություններն են ցածր արժեքը, լավ ամրությունը և ջերմային կայունությունը:
Մոլիբդենային հայելին չափազանց ամուր մակերեսն այն դարձնում է իդեալական ամենախստապահանջ ֆիզիկական միջավայրի համար: Mo հայելին սովորաբար առաջարկվում է առանց ծածկույթի:
Տեխնիկական պայմաններ | Ստանդարտներ |
Չափային հանդուրժողականություն | +0.000» / -0.005» |
Հաստության հանդուրժողականություն | ±0,010» |
Զուգահեռություն (պլանո) | ≤ 3 աղեղային րոպե |
Մաքուր բացվածք (հղկված) | տրամագծի 90% -ը |
Մակերեւութային նկար @ 0.63um | Հզորությունը՝ 2 ծոպեր, Անկանոնություն՝ 1 եզր |
Scratch-Dig | 10-5 |
Ապրանքի անվանումը | Տրամագիծը (մմ) | ET (մմ) | Ծածկույթ |
Mo Mirror | 30 | 3/6 | Առանց ծածկույթի, AOI՝ 45° |
50.8 | 5.08 | ||
Սիլիկոնային հայելի | 30 | 3/4 | HR@106um, AOI:45° |
38.1 | 4/8 | ||
50.8 | 9.525 |